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芯元(浙江)科技有限公司
芯元(浙江)科技有限公司成立于2018年，宗旨是推动科研成果工程化与产业化、科技项目的商业化运作，致力于全国产化、高性能MEMS惯性传感器产品。公司建有中科院地质与地球物理研究所嘉善产业化示范基地，姚振兴院士工作站。已开发出应用于石油勘探、微振动检测、地震预警、结构健康监测、自动驾驶、无人机的具有自主知识产权的高精度MEMS加速度传感器及MEMS陀螺仪。MEMS加速度计的噪声性能指标达国际先进水平，填补了国内超低噪声MEMS加速度传感器空白，实现国产替代。高精度单轴MEMS陀螺仪采用晶圆级真空封装技术，高精度MEMS工艺制备芯片微结构，可提供优良的动态性能和工作稳定性。
